SPUTTERING PVD
Phún xạ là một quá trình hóa hơi không nhiệt độ trong đó các nguyên tử bề mặt vật liệu được giải phóng vật lý- đẩy ra khi bị bắn phá bởi các ION có năng lượng cao.
-Khi ở điều kiện bình thường , khí argon =điện tử + ion .
sau khi hút chân không cho buồng lò PVD , cung cấp một điện áp âm vào điện cực ( target) ,một điện trường E được tạo ra giữa hai điện cực , điện trường này định hướng và truyền năng lượng cho khí Ar.
Ar + năng lượng → ion Ar+ và điện tử e-
Trong quá trình chuyển động , điện tử va chạm và ion hóa với các nguyên tử hoặc phân tử khí , sản sinh ra ion Ar+ và các điện tử e- , các điện tử di chuyển về phía cực dương anode , còn các ion Ar+ di chuyển về cực âm- Cathode nối với điện cực , các ion Ar+ này va đập vào bề mặt của điện cực ( target) làm các nguyên tử bứt ra khỏi liên kết tinh thể bay ra ngoài và được dẫn hướng theo điện trường do điện áp phân cực Bias – kết nối với gá sản phẩm tạo ra.
.JPG)
Công ty Cổ Phần PVD Vietcoat.
Địa chỉ : Số 455/9B, Đường DT743C, KP Chiêu Liêu, Phường Tân Đông Hiệp, Thành phố Dĩ An, Tỉnh Bình Dương.
Điện thoại liên hệ : 0939.67.63.68 - 08.65.67.63.68 - 0906815697 (Mr Cường).
