ION PLASMA
ION PLASMA LÀ GÌ?
WHAT ARE PLASMA IONS?
Trong công nghệ mạ PVD (Physical Vapor Deposition), Ion Plasma được xem là “trái tim” của toàn bộ quá trình tạo lớp phủ.
Plasma là trạng thái thứ tư của vật chất, sau rắn, lỏng và khí. Khi được cung cấp năng lượng rất cao trong môi trường chân không, các phân tử khí như Argon (Ar), Nitơ (N₂), Axetylen (C₂H₂), Oxy (O₂)… bị tách electron và tạo thành hỗn hợp gồm:
* Ion dương (Positive ions)
* Electron tự do (Free electrons)
* Nguyên tử trung hòa (Neutral atoms)
* Các phân tử kích thích (Excited species)
Hỗn hợp này được gọi là Plasma.
